FertigWasser

Mittels der PowderMEMS-Technologie lassen sich eingeätzte Vertiefungen auf Silizium-Wafern homogen mit metallischen oder keramischen Pulvern befüllen. Die Verfestigung der Pulverhaufwerke erfolgt durch eine Ummantelung mittels Atomic Layer Deposition (ALD). Das automatisierte Verfahren zum Aufbau von MEMS-Strukturen in der Mikroelektronik wurde vom Fraunhofer IFAM gemeinschaftlich mit dem Fraunhofer ISIT entwickelt und beruht auf der Überlagerung von verschiedenen Schwingungsfrequenzen zum Transport und zur dichten Packung der Pulverpartikel (zum Patent angemeldet). In diesem Projekt sollen die Grundlagen dafür geschaffen werden, dieses Prinzip auf die Befüllung von dünnen metallischen Blechen (Dicke 0,1 bis 1 mm) zu übertragen, um damit einen prinzipiellen Funktionsnachweis für ein neues kompaktes, hochleistungsfähiges Stackkonzept für die alkalische Elektrolyse und Brennstoffzelle zu erbringen. Dazu wird auf den Blechen anstelle eines großen Reaktionsraums eine Vielzahl pulvergefüllter offenporöser Mikrokanäle erzeugt, die homogenere Reaktionsbedingungen als in einem herkömmlichen Design gewährleisten. Die grundsätzliche Machbarkeit und Funktionalität des Konzepts soll in Form eines Labor-Einzelzellentests nachgewiesen werden.